Optimization of a Vacuum Thermal Evaporation Process through Model-Based Predictive Control of the Source Temperature

Zöller, Daniel (Corresponding author); Reiter, Matthias Christian (Corresponding author); Abel, Dirk (Corresponding author)

(2015)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: IFAC-PapersOnLine
Band: 48
Heft: 11
Seite(n)/Artikel-Nr.: 86-91

Einrichtungen

• Lehrstuhl und Institut für Regelungstechnik [416610]